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                  上海艾飛思精密儀器有限公司
                  品質是生命,服務是宗旨

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                  網站首頁  ◇  技術文章  ◇  校準全自動晶圓接觸角測量儀需要哪些工具?

                  校準全自動晶圓接觸角測量儀需要哪些工具?

                  來源:技術文章    發布時間:2022-03-03    瀏覽:202次
                    全自動晶圓接觸角測量儀很長時間采用的校準工具是玻璃板。玻璃校準板與顯微鏡的分劃板一樣,采用刻蝕技術將標準角度的圖片刻在玻璃板上,再通過測試標準角度值后,看接觸角測量儀的精度。通過如上的描述可以很容易看出,如上的操作事實上沒有對接觸角測量儀本身進行任何調?;蛐?,只是測試了一下標準圖片,看一下角度值差多少。
                   
                    全自動晶圓接觸角測量儀作為一種專業的理化分析儀器,正如粘度計、分析天平等專業儀器一樣,接觸角測量儀事實上也需要進行專業的調?;蛐什僮?。通常建議接觸角測量儀1年校準一次。
                   
                    固體表面粗糙度、均勻性,極性、污染等;盡量保證測試樣品表面平整、無污染數據處理方式有多種,基本是儀器或人為調整基線測量,這個會存在一定的誤差。
                   
                    通過接觸角測量儀的原理,即接觸角測量儀通常采用側視條件下拍攝3D條件下的液滴的輪廓并采用相應的算法分析得到接觸角值。根據光學成像原理,可以知道,3D條件下,鏡頭相機、與被測物體水滴、在成像視角、俯視與否情況、樣品本身的上表面水平情況均會影響到最終的角度值結果。
                   
                    接觸角測量儀的校準包括:
                   
                    1、通過校準樣品臺的水平,校準接觸角測量儀;
                   
                    2、通過校準鏡頭的水平,校準接觸角測量儀;
                   
                    硬件方面,接觸角測量儀的校準需要包括:
                   
                    1、3D紅寶石工具;
                   
                    2、樣品臺微米級調整水平;
                   
                    3、鏡頭微米級水平調整。
                   
                    如果不能夠提供如上整套工具缺一不可、,則該接觸角測量儀是無法進行校準的,也根本無法保證該接觸角測量儀的測值精度的。
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